特許

J-GLOBAL ID：200903057756654036

微動位置決め機構,微動位置決めステージ装置及び作業用アーム装置

発明者： 内山 茂
出願人/特許権者： 中央精機株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058177
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258572
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 位置決め精度の向上を課題とする。【解決手段】 所定方向の運動を行い位置決めされる可動部材2と、少なくとも二以上のプーリ51a,51b,51cと、これらのプーリ51a,51b,51cに張設され,可動部材2に運動を行う駆動力を伝達する動力伝達ベルト52と、各プーリ51a,51b,51cの内,互いに隣接する二つのプーリ51b,51cに同時に外接する直線に沿って動力伝達ベルト52に搬送動作を付勢する搬送付勢手段5とを備えている。

請求項（抜粋）：

所定方向の運動を行い位置決めされる可動部材と、少なくとも二以上のプーリと、これらのプーリに張設され,前記可動部材に前記運動を付勢する動力伝達ベルトと、前記各プーリの内,互いに隣接する二つのプーリに同時に外接する直線に沿って前記動力伝達ベルトに搬送動作を付勢する搬送付勢手段と、を備えることを特徴とする微動位置決め機構。

IPC (2件)：

G12B 5/00 ,  G05D 3/00

FI (2件)：

G12B 5/00 A ,  G05D 3/00 A

Fターム (16件)：

2F078CA03 ,  2F078CA06 ,  2F078CB12 ,  2F078CC03 ,  2F078CC11 ,  5H303AA06 ,  5H303AA20 ,  5H303BB01 ,  5H303BB06 ,  5H303BB11 ,  5H303CC01 ,  5H303DD03 ,  5H303DD28 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303MM05

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 駆動機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-281363   出願人：ソニー株式会社