特許
J-GLOBAL ID：200903057786819854

レーザ光源運用方法

発明者：
松木 一人

松木 一人 について


出願人/特許権者：
アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社

アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 について


代理人 (3件)： 松山 允之 ,  河西 祐一 ,  池上 徹真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-281108
公開番号（公開出願番号）：特開2007-093825
出願日： 2005年09月28日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：
【目的】 レーザ光源に使用される非線形結晶の損傷を、精度よくモニタし、レーザ光を安定に供給するレーザ光源の運用方法を提供することを目的とする。【構成】 2波長のレーザ光を非線形結晶に入力して和周波の波長を出力する波長変換装置を備えるレーザ光源の運用方法であって、入力される2波長のレーザ光のうち、一方の波長のレーザ光のみを非線形結晶に入力するステップと、和周波の波長の出力光の光軸上に設置された受光センサにより、一方の波長のレーザ光の散乱光の強度を測定するステップと、受光センサでの強度測定により得られた測定値に基づき、非線形結晶の損傷状態を判断するステップとを有することを特徴とする。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
2波長のレーザ光を非線形結晶に入力して和周波の波長を出力する波長変換装置を備えるレーザ光源の運用方法であって、 前記レーザ光源の定常使用を任意の間隔をおいて中断するステップ、 前記2波長のレーザ光のうち、一方の波長のレーザ光のみを前記非線形結晶に入力するステップ、 前記和周波の波長の出力光の光軸上に設置された受光センサにより、前記一方の波長のレーザ光の散乱光の強度を測定するステップ、 前記測定により得られた測定値に基づき、前記非線形結晶の損傷状態を判断するステップとを有することを特徴とするレーザ光源運用方法。
IPC (2件)：
G02F 1/37 ,  H01S 3/109
FI (2件)：
G02F1/37 ,  H01S3/109
Fターム (17件)：
2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002BA01 ,  2K002CA02 ,  2K002DA01 ,  2K002EB15 ,  2K002GA05 ,  2K002HA14 ,  5F172AD02 ,  5F172AE03 ,  5F172AF02 ,  5F172NN06 ,  5F172NP02 ,  5F172NP12 ,  5F172NP16 ,  5F172NR22 ,  5F172NS26
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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