特許
J-GLOBAL ID：200903057802798277

圧電振動片および圧電デバイス

発明者：
棚谷 英雄

棚谷 英雄 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 岡▲崎▼ 信太郎 ,  新井 全
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-277293
公開番号（公開出願番号）：特開2006-094154
出願日： 2004年09月24日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：
【課題】 小型化をする上で、CI値を抑え、かつ振動特性を悪化させることがない圧電振動片と、このような圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供すること。【解決手段】 圧電材料により形成された基部51と、前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕35,36と、前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝33,34と、前記長溝に形成した駆動用の電極とを備えており、前記各振動腕の幅寸法が、前記基部側から先端側に向かって、徐々に縮幅するとともに、前記先端側には前記幅寸法が増加に転じる幅変化の変更点Pがあり、前記変更点Pを、前記長溝の先端部よりもさらに腕先端側に位置させるようにし、かつ、前記振動腕の幅縮幅率としての最大幅/最小幅=Mの値が、前記振動腕の腕長さLに対する前記長溝の長さPLの割合=Nとの関係で決定されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電材料により形成された基部と、 前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕と、 前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、 前記長溝に形成した駆動用の電極と を備えており、 前記各振動腕の幅寸法が、前記基部側から先端側に向かって、徐々に縮幅するとともに、前記先端側には前記幅寸法が増加に転じる幅変化の変更点Pがあり、 前記変更点Pを、前記長溝の先端部よりもさらに腕先端側に位置させるようにし、 かつ、前記振動腕の幅縮幅率としての最大幅/最小幅=Mの値が、前記振動腕の腕長さに対する前記長溝の長さの割合=Nとの関係で決定されている ことを特徴とする、圧電振動片。
IPC (4件)：
H03H 9/19 ,  H03H 9/215 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18
FI (4件)：
H03H9/19 J ,  H03H9/215 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A
Fターム (12件)：
5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108BB08 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108GG03 ,  5J108KK01 ,  5J108KK07
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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