特許
J-GLOBAL ID：200903057816824963
導通検査装置及びその検査方法及びその検査プローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-272155
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115653
出願日： 1996年10月15日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：
【要約】【課題】 位置決めが容易で、汎用性に優れた導通検査装置及びその検査方法及びその検査プローブの提供。【解決手段】 プローブ1を基板10のパターン102に接触させ、スイッチ回路6の接続を切り換え、例えば導体#1に電圧を印加し、その印加した電圧が検出された他の導体を検出することにより、どの導体がどのパターンと接触しているかを関連付ける。導通検査は、関連付け情報に基づいて、?@から順に交流電圧を印加し、非接触センサ2により電圧の有無を検出する。プローブ1の導体間隔は、1本のパターン102上にプローブ1の導体が少なくとも1本接触する間隔とし、且つ前記複数の検出導体それぞれの導体幅が、前記複数の導体パターンにおける隣り合う2本のパターンの間隔より狭い幅とする。
請求項（抜粋）：
基板上に形成されている複数の導体パターンに検査プローブを接触させ、その複数の導体パターンの導通を検査する導通検査装置であって、前記複数の導体パターンの一方の端部に前記検査プローブを接触させた際、前記複数の導体パターンにおける各導体パターンに、少なくとも1つ接触する間隔で配置され、且つそれぞれの導体幅が、前記複数の導体パターンにおける隣り合う2本のパターンの間隔より狭い間隔で配置されたところの、前記検査プローブが有する複数の検出導体のうちのある検出導体に、第1の所定電圧を印加した結果、その電圧が検出された前記ある検出導体以外の検出導体と前記ある検出導体とを、前記複数の導体パターンのうちのある導体パターンとして関連付ける関連付け手段と、その関連付け手段により得られた関連付け情報に基づいて前記複数の導体パターンをそれぞれ選択し、導通を検査する検査手段と、を備えたことを特徴とする導通検査装置。
引用特許：
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