特許

J-GLOBAL ID：200903057824301449

研磨装置及び研磨方法

発明者： 袋田 淳史 ,  有本 由弘 ,  中村 亘
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-081749
公開番号（公開出願番号）：特開平9-150367
出願日： 1996年04月03日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】研磨装置に関し、研磨の際の振動を高感度に検出して研磨のバラツキを精度良く、しかもリアルタイムで検出して研磨時間を短縮し、また、ゴミの存在の確認を容易にするとともに、定盤の振動の伝達を無線で正常に行うとともに、研磨状態を捉えるために利用される研磨固有の振動の検出能力を改善すること。【解決手段】研磨対象物を支持する第1の定盤3を回転する駆動機構21と、第1の定盤に対向する第2の定盤2に張付られた研磨布1と、第1又は第2の定盤に取付けられて研磨時の振動を検出する振動検出器10と、第1の定盤、第2の定盤の動作を制御する制御部17と、振動検出器に検出された振動強度を周波数分析し、さらに振動強度を時間毎に積分し、積分値の時間的変化が基準値を下回った時、又は積分値が基準値を下回った時の何れかの時点で、前記第1の定盤、前記第2の定盤を停止する研磨停止信号を前記制御部に送る信号解析手段15とを含む。

請求項（抜粋）：

研磨対象物を支持する第1の定盤と、前記第1の定盤を回転させる第1の駆動機構と、前記第1の定盤に対向して配置される第2の定盤と、前記第2の定盤に張り付けられた研磨布と、前記第1の定盤又は前記第2の定盤に取り付けられ、研磨時の振動を検出する振動検出器と、少なくとも前記第1の定盤と前記第2の定盤の一方の研磨動作を制御する制御部と、前記振動検出器により検出された振動強度を周波数分析し、さらに該振動強度を時間毎に積分し、積分値の時間的変化が基準値を下回った時、又は該積分値が基準値を下回った時の何れかの時点で、前記第1の定盤、前記第2の定盤の少なくとも一方を停止する研磨停止信号を前記制御部に送る信号解析手段とを有することを特徴とする研磨装置。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B 37/04 D ,  H01L 21/304 321 M ,  H01L 21/304 321 E

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 研磨方法及び研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-090327   出願人：株式会社東芝