特許

J-GLOBAL ID：200903057842113773

ポジ型レジスト組成物

発明者： 上谷 保則 ,  富岡 淳 ,  桑名 耕治 ,  中西 弘俊 ,  植田 裕治
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-039755
公開番号（公開出願番号）：特開平6-250386
出願日： 1993年03月01日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 感度、解像度、プロファイル等の諸性能のバランスに優れ、スカムのないポジ型レジスト組成物。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、及び一般式(I)〜(IV)の2種以上のフェノール化合物のキノンジアジドスルホン酸エステルを含有するポジ型レジスト組成物。(式中、R1 〜R42は各々独立して水素原子、炭素数1〜4のアルキル基又は水酸基を表わし、R43は水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表わす。)

請求項（抜粋）：

一般式(I)〜(IV)【化1】(式中、R1 〜R42は各々独立して水素原子、炭素数1〜4のアルキル基又は水酸基を表わし、R43は水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表わす。)で示される2種以上のフェノール化合物のキノンジアジドスルホン酸エステル、及びアルカリ可溶性樹脂を含むことを特徴とするポジ型レジスト組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (12件)

• 特開平4-295472
  
• 特開平4-241353
  
• 特開平2-084650
  
• 特開平4-177353
  
• 特開平3-185447
  
• 特開平4-293050
  
• 特開平4-301850
  
• 特開平4-301847
  
• 特開平4-284454
  
• 特開平4-328555
  
• 特開平4-029242
  
• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-022772   出願人：住友化学工業株式会社