真空ポンプの体積流量の制御方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-350538
公開番号（公開出願番号）：特開平10-220373
出願日： 1997年12月19日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：

【要約】【課題】真空ポンプの体積流量を再現可能に設定しかつ個々の真空プロセスに適合させることが可能な方法および装置を提供する。【解決手段】本発明は,真空室内のプロセスがその過程においてそれにより有利な影響を受ける方法および装置に関するものである。1段または複数段(2a,2b,2c)からなる真空ポンプ(1)において,ガス流れの一部を,接続配管(8)および制御弁(9)を介して吸込フランジに戻すことができる。これにより,吸入側の圧力が上昇しかつポンプにより排出すべきガスに対する体積流量が低下する。これにより,真空ポンプの体積流量の正確でかつ直接的な制御が可能である。

請求項（抜粋）：

真空ポンプ(1)が1段または複数段(2a,2b,2c)からなりかつ高真空接続端(4)および背圧接続端(5)を有し,真空ポンプ(1)内に高真空接続端から背圧接続端へガス流れが発生される真空ポンプ(1)の体積流量の制御方法において,高真空接続端(4)と背圧接続端(5)との間のある位置(7)においてガス流れの一部が分岐されかつ高真空接続端に戻されることを特徴とする真空ポンプの体積流量の制御方法。

IPC (2件)：

F04C 25/02 , F04B 37/16

FI (2件)：

F04C 25/02 B , F04B 37/16 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

2段スクリユー真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平2-401674 出願人：株式会社荏原製作所
特開昭57-140584
特開平4-031394

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