特許
J-GLOBAL ID：200903057872106780

精密基板収納容器

発明者：
中山 孝行

中山 孝行 について

, 
新谷 渉

新谷 渉 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (1件)： 荒井 鐘司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-366763
公開番号（公開出願番号）：特開2003-168728
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 基板収納容器内の澱み部分を無くして、容器内部のガスの置換を完全に行うことのできる基板収納容器を提供する。【解決手段】 本発明の精密基板収納容器は、容器本体2と蓋体3とからなり、内外に連通する複数の貫通孔を利用して容器内部の気体を置換できる精密基板収納容器の、複数の貫通孔の一箇所に、容器本体内に収納された精密基板Wの両面に気流を吹き付ける吹出孔を備えたノズル部材5を取り付け、残りの貫通孔を排気孔とする。ノズル部材5の吹出孔からクリーンエアーや不活性ガスを個々の精密基板の両面に沿って直接吹き付けることにより、基板収納容器内の澱み部分を無くして、基板への塵挨等の付着を防ぎ、容器内部の完全なガス置換が行える。
請求項（抜粋）：
容器本体と蓋体とからなり、内外に連通する複数の貫通孔を利用して容器内部の気体を置換できる精密基板収納容器において、前記貫通孔の少なくとも一箇所に、容器本体内に収納された精密基板の両面に気流を吹き付ける吹出孔を備えたノズル部材を取り付け、前記残りの貫通孔を排気孔としてなることを特徴とする精密基板収納容器。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B65D 81/24 ,  B65D 85/86
FI (3件)：
H01L 21/68 T ,  B65D 81/24 C ,  B65D 85/38 R
Fターム (41件)：
3E067AA12 ,  3E067AB41 ,  3E067AC03 ,  3E067BA01A ,  3E067BC07A ,  3E067EA18 ,  3E067FA01 ,  3E067FC01 ,  3E067GA19 ,  3E067GB05 ,  3E067GD01 ,  3E096AA06 ,  3E096BA15 ,  3E096BB03 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA26 ,  3E096DA30 ,  3E096DB01 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02Y ,  3E096FA01 ,  3E096GA03 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA11 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA04 ,  5F031FA07 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F031NA15 ,  5F031NA16 ,  5F031PA26
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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