特許
J-GLOBAL ID：200903057876205863

焦点検出装置

発明者：
藤井 章弘

藤井 章弘 について


出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社

オリンパス光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-324035
公開番号（公開出願番号）：特開2003-131116
出願日： 2001年10月22日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：
【要約】【課題】 優れた作業性が得られ、しかも微小な領域の焦点検出も確実に行うことができる焦点検出装置を提供する。【解決手段】 レーザー光を被測定表面7に集光スポットとして照射するとともに、被測定表面7から反射した反射光を受光素子10、12で受光し、これらの出力により被測定表面7の合焦を検出する焦点検出装置であって、レーザー光の投影像と光学的に共役の位置にピンホール22を配置するとともに、ピンホール22をを照明する可視光域の光を発光する光源23が設けられ、光源23により照明されたピンホール22の像の光をレーザー光の光路を通して被測定表面7に照射するとともに、被測定表面7から反射したピンホール22の像を被測定表面7上に照射されるレーザー光の集光スポットとして観察可能にする。
請求項（抜粋）：
測定光を被検体に対し集光スポットとして照射するとともに、前記被検体から反射した反射光を受光手段で受光し、該受光手段の出力により前記被検体面の合焦を検出する焦点検出装置において、前記測定光の投影像と光学的に共役の位置に配置された指標と、前記指標を照明する可視光域の光を発光する光源と、を具備し、前記光源により照明された前記指標の像の光を前記測定光の光路を通して前記被検体に対し照射するとともに、前記被検体から反射した前記指標の像を前記被検体上に照射される前記測定光の集光スポットとして観察可能にしたことを特徴とする焦点検出装置。
IPC (4件)：
G02B 7/28 ,  G01B 11/00 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/24
FI (5件)：
G01B 11/00 H ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/24 ,  G02B 7/11 M ,  G02B 7/11 N
Fターム (39件)：
2F065AA06 ,  2F065AA19 ,  2F065CC01 ,  2F065CC25 ,  2F065DD00 ,  2F065FF10 ,  2F065FF41 ,  2F065FF49 ,  2F065GG06 ,  2F065GG22 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL20 ,  2F065LL26 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065LL50 ,  2H051AA10 ,  2H051BA53 ,  2H051BA70 ,  2H051BA72 ,  2H051CB14 ,  2H051CC03 ,  2H051CC04 ,  2H051CC13 ,  2H052AC04 ,  2H052AC34 ,  2H052AD09 ,  2H052AF02 ,  2H052AF23
引用特許：
審査官引用 (5件)
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