板状体の加工装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-180444
公開番号（公開出願番号）：特開2000-006021
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】【課題】板状体の加工中に加工部冷却用として供給される加工液の飛散を防止することができる板状体の加工装置を提供する。【解決手段】本発明は、切削水の流路が形成された筒状のダイヤモンドドリル30をケーシング14で包囲し、このケーシング14にバキューム装置88を連結し、ケーシング14内で飛散した加工液を吸引して排気する。

請求項（抜粋）：

板状体を加工する加工部と、該加工部で加工中の板状体に加工液を供給する加工液供給部とを備えた板状体の加工装置において、前記加工部と前記加工液供給部とが、前記板状体の進退用開口部が形成されたケーシングで包囲されており、該ケーシングで包囲された加工空間のエアを吸引して外部に排気する吸引手段が前記加工空間に連通するように設けられていることを特徴とする板状体の加工装置。

Fターム (5件)：

3C047FF09 , 3C047FF17 , 3C047GG13 , 3C047HH13 , 3C047HH18

引用特許：

審査官引用 (4件)

半導体ウエハ研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-319289 出願人：株式会社荏原製作所, 株式会社東芝
板状体の周縁研削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-291408 出願人：旭硝子株式会社
特開昭63-295107

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