非球面形状の測定方法と測定装置およびこれを用いた光学素子製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀田実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055867
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249526
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】非球面原器を用いることなく短時間で計測することができる非球面形状の測定方法と測定装置およびこれを用いた光学素子製造方法を提供する。【解決手段】被測定面1の非球面形状に合わせて干渉縞が出る程度の形状精度を有する非球面参照面2を製作し、これにより非球面波面3を生成させ、短時間に大領域の非球面干渉計測を行う。非球面参照面は、フライカットもしくはELID研削を利用して製作した非球面光学素子10であり、非球面形状からの反射光と所定の参照光とから干渉縞を形成し、非球面形状を干渉計測する。非球面光学素子は、干渉縞が出る程度の形状精度で被測定面の法線方向に平行光を反射する非球面反射ミラーであるのがよい。

請求項（抜粋）：

被測定面(1)の非球面形状に合わせて干渉縞が出る程度の形状精度を有する非球面参照面(2)を製作し、これにより非球面波面(3)を生成させ、短時間に大領域の非球面干渉計測を行う、ことを特徴とする非球面形状測定方法。

FI (2件)：

G01B 11/24 D , G01B 11/24 M

Fターム (8件)：

2F065AA45 , 2F065BB05 , 2F065CC22 , 2F065DD06 , 2F065FF52 , 2F065LL11 , 2F065QQ27 , 2F065RR05

引用特許：

出願人引用 (5件)

非球面形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-020306 出願人：株式会社ニコン
ト-リック面形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-340207 出願人：キヤノン株式会社
ヌル波面計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-018137 出願人：株式会社ニコン

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審査官引用 (1件)

非球面形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-020306 出願人：株式会社ニコン

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