被試験基板における電子回路動作試験方法及びその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-135266
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327708
出願日： 1995年06月01日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、LSI等の電子部品をプリント基板等の回路基板に実装して電子回路を形成した被試験基板における電子回路の動作状態(インサーキット試験)を、センサアレイを用いて非接触で能率良く測定することができるようにした被試験基板における電子回路動作試験方法及びその装置を提供することになる。【構成】本発明は、被試験基板3の被測定点の信号を外部より印加して時間的に変化させ、検出電極2を配列したセンサアレイ1を被試験基板3に近接させて配置させることにより被測定信号を静電的に結合された検出電極2に誘起させて、被試験基板3の全面または一部分の2次元または1次元の電位分布を検出し、基準の電位分布と比較することにより電子回路の動作状態(故障状態)を試験する被試験基板における電子回路動作試験方法及びその装置である。

請求項（抜粋）：

電子部品を実装して電子回路を形成した被試験基板における電子回路の動作を試験する電子回路動作試験方法において、前記被試験基板における電子回路に試験信号を時間的に変化させて印加し、電界分布検出電極をアレイ状に並設したセンサアレイを前記被試験基板に近接させて前記各電界分布検出電極により非接触で前記被試験基板における電子回路の被測定点における電界分布を測定して前記被試験基板における電子回路の動作状態を試験することを特徴とする被試験基板における電子回路動作試験方法。

IPC (2件)：

G01R 31/302 , G01R 29/14

FI (2件)：

G01R 31/28 L , G01R 29/14

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-119778
テストプローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-317376 出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
特開平2-002967

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