特許
J-GLOBAL ID：200903057976098916
導電性針の位置ずれを低減したプローブ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上野 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-289259
公開番号（公開出願番号）：特開平8-129875
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】 導電性針の位置ずれを解消したプローブ装置【目的】 メディア移動型のメモリ装置等に用いられる、電性針の位置ずれが生じにくいプローブ装置を提供する。【構成】 導電性針22を持つプローブ2が基板に形成されたプローブ群支持部材を有するプローブ装置において、前記プローブ2の本体21が前記プローブ群支持部材の基板面Sに平行に張り出した前記基板から延伸する複数の腕(たとえば、第1および第2の腕21A,21B)を結合してなる複合梁(たとえば、L字形梁)により構成され、導電性針22が、前記複合梁の何れかの箇所に、前記基板面Sに対して垂直に取り付けられてなる、ことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
導電性針を持つプローブが基板に形成されたプローブ群支持部材を有するプローブ装置において、前記プローブの本体が、前記プローブ群支持部材の基板面に平行に張り出した前記基板から延伸する複数の腕を結合してなる複合梁により構成され、前記導電性針が、前記複合梁の何れかの箇所に前記基板面に対して垂直に取り付けられてなる、ことを特徴とする導電性針の位置ずれを低減したプローブ装置。
引用特許：
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