特許
J-GLOBAL ID:200903058008328459
レーザ加工装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
金田 暢之 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-290634
公開番号(公開出願番号):特開2002-103066
出願日: 2000年09月25日
公開日(公表日): 2002年04月09日
要約:
【要約】【課題】 簡単な構造と安定した制御で、ファーストパルスの問題を解決し、かつ、出力レーザパルスのピーク値を任意に変更可能なレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 レーザ加工される加工対象物とQスイッチ形レーザ発振器6との間の光路に配置され、光スイッチパルスによって開閉制御される光スイッチユニット9と、Qスイッチユニット8と光スイッチユニット9との動作タイミングを記述するI/Oデータが指定する繰り返し周波数を有するQスイッチ周波数パルスを生成し、該Qスイッチ周波数パルスの各周期毎にI/Oデータがポンピング期間として指定する期間をパルス幅とするQスイッチ制御パルスをQスイッチ周波数パルスに同期して発生して出力し、かつ、レーザ光の通過期間として設定されている期間をパルス幅とする光スイッチパルスを前記Qスイッチ周波数パルスに同期して発生して出力する制御ユニット3を有する。
請求項(抜粋):
Qスイッチ制御パルスによって動作が制御されるQスイッチユニットを備え、Qスイッチ制御パルスの制御によって当該Qスイッチユニットがオン状態になったときには発振が抑止され、オフ状態になったときには正常に発振をする光共振器を有するレーザ発振器と、前記レーザ発振器から発射されるレーザパルスによってレーザ加工される加工対象物と前記レーザ発振器との間の光路に配置され、光スイッチパルスの制御によってレーザ光を通過または遮断する光スイッチユニットと、レーザ加工開始タイミングと、該レーザ加工開始タイミング以後、前記Qスイッチユニットを周期的に作動させる繰り返し周波数とを指定し、前記Qスイッチをオン状態にする期間をポンピング期間として指定する、I/Oデータを出力するコンピュータと、前記I/Oデータが指定する繰り返し周波数を有するQスイッチ周波数パルスを生成し、該Qスイッチ周波数パルスの各周期毎にI/Oデータがポンピング期間として指定する期間には第1の論理レベルをとり、その他の期間には、第2の論理レベルをとるQスイッチ制御パルスを前記Qスイッチ周波数パルスに同期して発生して出力し、かつ、レーザ光の通過期間として設定されている期間をパルス幅とする光スイッチパルスを前記Qスイッチ周波数パルスに同期して発生して出力する制御ユニットと、前記Qスイッチ制御パルスを入力して該Qスイッチ制御パルスに応答して前記Qスイッチユニットを制御するQスイッチドライバ部と、前記光スイッチパルスを入力して該光スイッチパルスに応答して前記光スイッチユニットを制御する光スイッチドライバ部とを有するレーザ加工装置。
IPC (3件):
B23K 26/00
, H01S 3/00
, H01S 3/11
FI (3件):
B23K 26/00 N
, H01S 3/00 B
, H01S 3/11
Fターム (8件):
4E068CA03
, 4E068CA04
, 4E068CB02
, 5F072GG05
, 5F072HH07
, 5F072JJ05
, 5F072SS06
, 5F072YY06
引用特許: