基板面からの突起除去装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：横沢志郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-014897
公開番号（公開出願番号）：特開平9-207018
出願日： 1996年01月31日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【課題】安価な構成でありながら、液晶表示パネル用カラーフィルタ基板などの基板面を傷つけることなく、その基板面上にある突起を除去できる基板面からの突起除去装置を提供すること。【解決手段】突起除去装置1において、切り刃部分121をカラーフィルタ基板1の基板面上に下ろすとき、クランプ機構130は、切削工具120に対してアンランプ状態にあるが、その代わりに、第1の空気流通路116に供給された空気流は、第1の空気吹き出し口117から切削工具120の円板122の下面に向けて吹き出され、吹き出された空気流は、切削工具120の自重に逆らって切削工具120を上方に押し上げようとする。このため、切削工具120の切り刃部分121は、カラーフィルタ基板1上の基板面に微圧をもって接触する。ヘッド120を下降させたときには、第2の空気流通路123にも所定量の空気流が供給され、第2の空気吹き出し口124から空気流を吹き出す。

請求項（抜粋）：

基板面から突起を除去するための突起除去装置において、切削工具と、該切削工具を固定可能なクランプ機構を備え、前記切削工具を基板面に沿って移動させるためのヘッドと、前記クランプ機構が前記切削工具を固定した状態および解除した状態に切り換える制御手段と、前記切削工具の切り刃部分を前記基板面に向けて下ろすときに前記クランプ機構による固定を解除された前記切削工具に対しその自重に逆らって押し上げる方向に空気流を吹きつけることにより前記切削工具の切り刃部分と前記基板面との接触圧を低減する微圧接触機構とを有することを特徴とする基板面からの突起除去装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

突起物切削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-315423 出願人：高田穣一
特開平2-284813
特開昭63-176060

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