特許
J-GLOBAL ID：200903058062877271
半導体ヨーレートセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-249497
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114456
出願日： 1994年10月14日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、温度依存性を軽減して検出精度を向上させた半導体ヨーレートセンサを提供することを目的とする。【構成】 本発明の半導体ヨーレートセンサは、半導体と、半導体基板の表面から所定の間隔を隔てて上方に位置する可動電極と、この可動電極を前記半導体基板に対して水平方向に振動させる振動手段と、前記可動電極の前記半導体基板に対する垂直方向の変位を検出する垂直変位検出手段と、前記振動手段により前記可動電極を水平方向に変位させている時に、前記垂直変位検出手段にて検出した前記可動電極の変位に応じ前記可動電極と前記半導体基板の間隔を一定に保つように前記可動電極の垂直方向の変位を制御する垂直変位制御手段とを備え、この垂直変位制御手段による前記可動電極の制御量にてヨーレートを検出するようにしたことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
半導体基板と、この半導体基板の表面から所定の間隔を隔てて上方に位置する可動電極と、この可動電極を前記半導体基板に対して水平方向に振動させる振動手段と、前記可動電極の前記半導体基板に対する垂直方向の変位を検出する垂直変位検出手段と、前記振動手段により前記可動電極を水平方向に変位させている時に、前記垂直変位検出手段にて検出した前記可動電極の変位に応じ前記可動電極と前記半導体基板の間隔を一定に保つように前記可動電極の垂直方向の変位を制御する垂直変位制御手段とを備え、この垂直変位制御手段による前記可動電極の制御量にてヨーレートを検出するようにしたことを特徴とする半導体ヨーレートセンサ。
IPC (6件)：
G01C 19/56
, G01B 5/24
, G01B 7/06
, G01D 5/16
, G01P 9/04
, H01L 29/84
