特許
J-GLOBAL ID：200903058066945298
光学部品およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉浦 正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-270611
公開番号（公開出願番号）：特開平9-090104
出願日： 1995年09月25日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 十分な耐熱性およびエッチング耐性を有するマイクロレンズなどの微小な光学部品を簡単な製造工程で製造する。【解決手段】 製造すべき光学部品、例えばマイクロレンズに対応する形状の開口2aを有するレジストパターン2をSi基板1上に形成し、このレジストパターン2をマスクとしてSi基板1上に液相CVD法などにより流動性を有する透明な無機材料、例えばSiO2 膜3を形成する。次に、レジストパターン2を除去した後、例えば400°C程度の低温で熱処理を行ってSiO2 膜3を固化させ、例えばマイクロレンズ4を製造する。
請求項（抜粋）：
透明な無機材料からなり、かつ少なくとも一方向の寸法が10μm以下であることを特徴とする光学部品。
IPC (3件)：
G02B 3/00
, C30B 25/06
, H01L 27/14
G02B 3/00 A
, C30B 25/06
, H01L 27/14 D
