特許
J-GLOBAL ID：200903058119519105

両面露光装置における自動アライメント方法

発明者：
深沢 俊夫

深沢 俊夫 について


出願人/特許権者：
日本精工株式会社

日本精工株式会社 について


代理人 (1件)： 渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-332144
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155430
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：
【要約】【課題】 アライメントマークが撮像手段の視野中央に入るような形で表マスク、裏マスクを被露光部材の表裏両面側にロードする処理を簡単、迅速、かつ高精度に行えるようにする。【解決手段】 被露光部材の表裏両面側にそれぞれ所定のアライメントマークを形成した表マスク、裏マスクをロードし、前記アライメントマークを撮像手段により撮像して得られた画像情報に基づいて自動的に表マスクと裏マスクとのアライメントを行う両面露光装置における自動アライメント方法において、前記撮像手段、前記表マスク、前記裏マスクのうちの少なくとも2つを駆動手段により駆動することにより、前記表マスクと裏マスクにそれぞれ形成された前記アライメントマークが前記撮像手段の視野中央に入るようにして、前記表マスクと裏マスクとのアライメントを行うように構成した。
請求項（抜粋）：
被露光部材の表裏両面側にそれぞれ所定のアライメントマークを形成した表マスク、裏マスクをロードし、前記アライメントマークを撮像手段により撮像して得られた画像情報に基づいて自動的に表マスクと裏マスクとのアライメントを行う両面露光装置における自動アライメント方法において、前記撮像手段、前記表マスク、前記裏マスクのうちの少なくとも2つを駆動手段により駆動することにより、前記表マスクと裏マスクにそれぞれ形成された前記アライメントマークが前記撮像手段の視野中央に入るようにして、前記表マスクと裏マスクとのアライメントを行うようにしたことを特徴とする両面露光装置における自動アライメント方法。
IPC (2件)：
G03F 9/00 ,  H05K 3/06
FI (2件)：
G03F 9/00 Z ,  H05K 3/06 G
Fターム (10件)：
2H097AA01 ,  2H097GA45 ,  2H097GB02 ,  2H097KA03 ,  2H097KA12 ,  2H097KA18 ,  2H097KA29 ,  2H097LA11 ,  5E339CF16 ,  5E339EE03
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 特開平2-003070
  • 露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-063057   出願人：株式会社精工舎
  • 特開平2-003070

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