圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：井上一 , 布施行夫 , 大渕美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-171522
公開番号（公開出願番号）：特開2005-353756
出願日： 2004年06月09日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：

【課題】良好な圧電特性を有する圧電素子を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電素子は,基体2と、基体2の上方に形成された下部電極4と、下部電極4の上方に形成された圧電体膜5と、圧電体膜5の上方に形成された上部電極6と、を含み、下部電極4および上部電極6のうちの少なくとも一つは、ペロブスカイト型構造であってAサイトにPbを有する導電性材料を含み、圧電体膜5は、ペロブスカイト型構造であってAサイトにPbを有する材料からなる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基体と、前記基体の上方に形成された下部電極と、前記下部電極の上方に形成された圧電体膜と、前記圧電体膜の上方に形成された上部電極と、を含み、前記下部電極および前記上部電極のうちの少なくとも一つは、ペロブスカイト型構造であってAサイトにPbを有する導電性材料を含み、前記圧電体膜は、ペロブスカイト型構造であってAサイトにPbを有する材料からなる、圧電素子。

IPC (10件)：

H01L41/09 , B41J2/045 , B41J2/055 , F04B9/00 , H01L41/187 , H01L41/22 , H01L41/24 , H03B5/30 , H03H9/17 , H03H9/64

FI (14件)：

H01L41/08 C , F04B9/00 B , H03B5/30 A , H03H9/17 F , H03H9/64 Z , H01L41/08 L , H01L41/18 101D , H01L41/18 101E , H01L41/18 101F , H01L41/18 101J , H01L41/08 J , H01L41/22 Z , H01L41/22 A , B41J3/04 103A

Fターム (53件)：

2C057AF51 , 2C057AG42 , 2C057AG44 , 2C057AG47 , 2C057AP16 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 3H075AA07 , 3H075BB04 , 3H075CC32 , 3H075DA05 , 3H075DB02 , 4G031AA03 , 4G031AA06 , 4G031AA07 , 4G031AA10 , 4G031AA11 , 4G031AA12 , 4G031AA13 , 4G031AA14 , 4G031AA15 , 4G031AA16 , 4G031AA17 , 4G031AA18 , 4G031AA20 , 4G031AA21 , 4G031AA22 , 4G031AA23 , 4G031AA26 , 4G031AA27 , 4G031AA32 , 4G031BA10 , 4G031CA01 , 4G031CA02 , 4G031CA08 , 5J079AA06 , 5J079BA47 , 5J079FA01 , 5J079HA06 , 5J097AA04 , 5J097BB11 , 5J097BB15 , 5J097DD28 , 5J097EE07 , 5J097FF03 , 5J097KK09 , 5J097KK10 , 5J108CC11 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108FF05 , 5J108KK01 , 5J108KK07

引用特許：

出願人引用 (1件)

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-030472 出願人：セイコーエプソン株式会社

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