特許

J-GLOBAL ID：200903058180228385

静電駆動デバイス

発明者： 森 恵一 ,  加藤 嘉睦 ,  則松 俊英 ,  伊巻 理
出願人/特許権者： 日本航空電子工業株式会社
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-327804
公開番号（公開出願番号）：特開2003-136493
出願日： 2001年10月25日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：

【要約】【課題】 マイクロマシニング技術を採用して製造した静電駆動デバイスにおける可動電極板の固定電極基板に対する張り付きを固定電極基板の可動電極板に対向する面に絶縁材料より成る微小球を介在させることにより防止する静電駆動デバイスを提供する。【解決手段】 固定電極基板8とアンカー部11およびフレクチュア21を介して固定電極基板に取り付け結合される可動電極板2とを有し、可動電極板2と固定電極基板8との間に電圧を印加して可動電極板2を静電駆動する静電駆動デバイスにおいて、固定電極基板8の可動電極板2に対向する表面に絶縁材料より成る微小球13’を介在させ、微小球13’はエポキシ樹脂により構成した静電駆動デバイス。

請求項（抜粋）：

固定電極基板とアンカー部およびフレクチュアを介して固定電極基板に取り付け結合される可動電極板とを有し、可動電極板と固定電極基板との間に電圧を印加して可動電極板を静電駆動する静電駆動デバイスにおいて、固定電極基板の可動電極板に対向する表面に絶縁材料より成る微小球を介在させたことを特徴とする静電駆動デバイス。

IPC (4件)：

B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G02B 26/08 ,  H02N 1/00

FI (4件)：

B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G02B 26/08 E ,  H02N 1/00

Fターム (4件)：

2H041AA14 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 磁気記録媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-207679   出願人：ソニー株式会社
• 微小可動デバイスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-070570   出願人：日本航空電子工業株式会社