角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-091305
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294260
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】圧電体を用いず広い温度範囲でも安定した出力特性を有する小型の振動式角速度センサを提供することを目的とする。【構成】面方位(110)面の単結晶シリコン板11の異方性エッチング特性を利用し、基板面に対して垂直で振動方向に平行な(111)面を振動体12及び駆動電極13に形成する。振動体11の励振には、両者の(111)面間に電位差を加え静電気力を発生させて行なう。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板面内に含まれる第一の軸方向に可動性を有し前記基板に支持され前記基板面に垂直で前記第一の軸に平行な第一の面群を有する振動体と、前記振動体の第一の面群と平行で対を成す第二の面群を含む駆動電極を備え、前記振動体の第一の面群と前記駆動電極の第二の面群の間の静電気力により前記振動体を前記第一の軸方向に駆動することを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (5件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-143148 出願人：株式会社村田製作所
ジャイロ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-127402 出願人：多摩川精機株式会社
特開平4-233468

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