曲面グレーティングの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奈良武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-282300
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146209
出願日： 1994年11月16日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】簡単な装置で、かつ厳密な環境管理を必要とせず、任意のパターンのグレーティングを曲面上に形成する。【構成】予め曲面に加工された基板1上に感光剤(フォトレジスト2)を塗布する。このフォトレジスト2をレーザービーム描画によって露光する。その後、露光されたフォトレジスト2を現像することによって凹凸を形成し、曲面グレーティングを製造する。

請求項（抜粋）：

予め曲面に加工された基板上に感光剤を塗布し、この感光剤をレーザービーム描画によって露光した後、露光された感光剤を現像することによって凹凸を形成する工程を有することを特徴とする曲面グレーティングの製造方法。

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭55-131730
特開平1-267505
特開昭60-191202

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