特許
J-GLOBAL ID：200903058216907926
空気圧駆動用の開閉制御弁及びその制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-241341
公開番号（公開出願番号）：特開平11-082763
出願日： 1997年09月05日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 電空レギュレータによるエアオペレートバルブ(AV)、サックバックバルブ(SV)の操作応答性を高めること。【解決手段】 開閉制御弁5は、互いに一体化されたバルブ部15及びレギュレータ部16を備える。バルブ部15は、互いに隣接して配置されるAV11及びSV12を有する。AV11、SV12は、レジスト液の流れを調節するために空気圧の作用を受けて開閉される。レギュレータ部16は、互いに隣接して配置される第1及び第2の電空レギュレータ13,14を有する。各電空レギュレータ13,14は、AV11、SV12のそれぞれに作用する操作圧を比例的に調整するために電気的に駆動される。バルブ部15は、その中に第1の電空レギュレータ13からAV11へ操作圧を短い距離で作用させるための第1の短通路46と、第2の電空レギュレータ14からSV12へ操作圧を短い距離で作用させるための第2の短通路69とを含む。
請求項（抜粋）：
所定の流体の流れを調節するために空気圧の作用を受けて開閉され、互いに隣接して配置されるエアオペレートバルブ及びサックバックバルブよりなるバルブ部と、前記エアオペレートバルブ及び前記サックバックバルブのそれぞれに作用する前記空気圧を比例的に調整するために電気的に駆動され、互いに隣接して配置される第1の電空レギュレータ及び第2の電空レギュレータよりなるレギュレータ部とを備えた空気圧駆動用の開閉制御弁において、前記バルブ部と、前記レギュレータ部とを互いに一体化して設け、それら一体化されたバルブ部又はレギュレータ部の中に、前記第1の電空レギュレータから前記エアオペレートバルブへ前記空気圧を短い距離で作用させるための第1の短通路と、前記第2の電空レギュレータから前記サックバックバルブへ前記空気圧を短い距離で作用させるための第2の短通路とを設けたことを特徴とする空気圧駆動用の開閉制御弁。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16K 7/00 Z
, F16K 31/122
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (10件)
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