特許
J-GLOBAL ID：200903058218579322
処理レシピのテンプレート機能を有する基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 孝雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-322123
公開番号（公開出願番号）：特開平9-139331
出願日： 1995年11月15日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：
【要約】【課題】 処理レシピを容易に設定することのできる基板処理装置を提供する。【解決手段】 基板を複数の処理ユニットに搬送する順序と、各処理ユニットにおける処理条件とを含む処理レシピを編集する際に、各処理ユニットにおける適切な処理条件として予め格納されているテンプレートデータを読出し、処理レシピの処理条件として設定する。
請求項（抜粋）：
基板処理装置であって、基板を処理するための複数の処理ユニットと、基板を前記複数の処理ユニットに搬送する順序と、各処理ユニットにおける処理条件とを含む処理レシピを記憶するための第1の記憶手段と、前記処理レシピを編集して前記第1の記憶手段に格納するレシピ編集手段と、各処理ユニットにおける適切な処理条件をテンプレートデータとして記憶する第2の記憶手段と、前記第1の記憶手段に記憶された処理レシピに従って前記複数の処理ユニットに基板の処理を実行させるレシピ実行手段と、を備え、前記レシピ編集手段は、前記第2の記憶手段から前記テンプレートデータを読み出して処理レシピの処理条件として設定するテンプレート設定手段を備える、基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/02
, G02F 1/1333 500
H01L 21/02 Z
, G02F 1/1333 500
