特許

J-GLOBAL ID：200903058255691736

微小部物性情報測定装置

発明者： 細木 茂行 ,  長谷川 剛 ,  河野 真貴子
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-238773
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167868
出願日： 1994年10月03日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】被検試料表面の原子スケール微小部からの電子スピン、核磁気モーメント、核四重極モーメントなどの物性情報を高感度で計測する。【構成】原子間力顕微鏡の探針2を被検試料1の表面に接近させ、被検試料1には磁界発生用コイル27及び磁路22〜26により磁界を、さらにコイル16、17によって高周波電磁界をそれぞれ印加し、該高周波電磁界に共鳴する被検試料1の表面に存在する原子からの信号を探針2により検出する。

請求項（抜粋）：

カンチレバーと、少なくとも先端表面の一部が導電物で構成され該カンチレバーに設けられた探針と、カンチレバーの変位を検出して所定の位置に制御するサーボ制御手段と、試料に静磁界と高周波電磁界を与える共鳴信号発生器からなることを特徴とする微小部物性情報測定装置。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01N 24/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 表面検査装置及び表面検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-196431   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平2-287246
  
• 特開平4-019585