面発光レーザ装置及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河野登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-082175
公開番号（公開出願番号）：特開平6-244502
出願日： 1993年04月08日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】 2次元レーザアレイの面発光レーザ素子夫々の電極側に備えた受光導電素子への光の入射に応じて発光する面発光レーザ装置を提供する。【構成】基板1上にn型多層膜2,クラッド層3が積層され、クラッド層3上には活性層4,クラッド層5及びキャップ層6がこの順に積層され、これらを埋め込む様態にてクラッド層3上に電流ブロック層7a,7bが積層されている。そして、前記キャップ層6及び電流ブロック層7bの表面には、平坦化層8a,8bが積層されている。そして、前記活性層4上層の前記平坦化層8b上に、多層膜13が形成され、これと適長離隔した前記平坦化層8b上の位置に、コレクタ9,ベース10,エミッタ11及びコンタクト層12が積層されて光トランジスタTが設けられ、その中央に波長フィルタ14が形成されている。

請求項（抜粋）：

電極に電圧を印加して、活性層に電流を注入し発光する面発光レーザ素子で構成される面発光レーザ装置において、光の入射により前記活性層に電流を流す受光導電素子を、前記面発光レーザ素子の電極が前記受光導電素子の電極となるように備えることを特徴とする面発光レーザ装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

光スイツチアレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-281182 出願人：日本電信電話株式会社
光電子集積回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-044409 出願人：松下電器産業株式会社
特開昭64-044086

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