浮上搬送装置用の気体噴出構造および噴出孔形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-244644
公開番号（公開出願番号）：特開2000-072250
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：

【要約】【課題】移送ユニットや制御ユニットの基台に用いられる搬送板に、簡単に噴出孔を設けることを可能にする浮上搬送装置用の気体噴出構造および浮上搬送装置用の噴出孔形成方法を提供する。【解決手段】搬送面21から噴出する気体で板状基体を浮上させる搬送板と、この搬送板に具備されていると共に搬送面21から噴出される気体を供給する供給系とを備えた浮上搬送装置用の気体噴出構造において、気体を噴出する位置で搬送面21に空けられると共に、供給系から気体の供給を受ける受け穴1と、受け穴1に嵌合する形状であり、受け穴1に挿入されていると共に、受け穴1に供給された気体を噴出する噴出孔が空けられた係合体とを設けた。

請求項（抜粋）：

搬送面から噴出する気体で板状基体を浮上させる搬送板と、この搬送板に具備されていると共に前記搬送面から噴出される気体を供給する供給系とを備えた浮上搬送装置用の気体噴出構造において、前記気体を噴出する位置で前記搬送面に空けられると共に、前記供給系から気体の供給を受ける受け穴と、前記受け穴に嵌合する形状であり、前記受け穴に挿入されていると共に、前記受け穴に供給された気体を噴出する噴出孔が空けられた係合体とを設けたことを特徴とする浮上搬送装置用の気体噴出構造。

IPC (4件)：

B65G 51/03 , B65G 49/06 , H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (4件)：

B65G 51/03 A , B65G 49/06 Z , H01L 21/68 A , B65G 49/07 J

Fターム (5件)：

5F031AA10 , 5F031CC52 , 5F031CC53 , 5F031CC54 , 5F031LL03

引用特許：

審査官引用 (7件)

特表平6-503548
特開昭63-225028
特開昭49-048081

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