特許
J-GLOBAL ID:200903058292848432
回路検証方法、回路検証システム、集積回路及び集積回路の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人はるか国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-195260
公開番号(公開出願番号):特開2006-018554
出願日: 2004年07月01日
公開日(公表日): 2006年01月19日
要約:
【課題】 実用的な速度のシミュレーションによりエレクトロマイグレーションの検証をすることができる回路検証方法、回路検証システム、集積回路及び集積回路の製造方法を提供すること。【解決手段】 検証目的の回路の構成及び前記検証目的の回路に備わる各配線の幅を示す回路データを入力する回路データ入力工程と、前記回路データに基づいて直流動作点解析を行うことにより、前記各配線節点における直流電流値を算出する直流電流値算出工程と、前記直流電流値算出工程で算出される前記各配線節点における直流電流値と、前記回路データが示す前記各配線節点の幅と、に基づいて前記各配線節点における電流密度値を算出する電流密度値算出工程と、前記電流密度算出工程で算出される前記各配線節点における電流密度値と所定許容値とをそれぞれ比較する比較工程と、前記比較工程における比較結果を出力する比較結果出力工程と、を含む。【選択図】 図8
請求項(抜粋):
検証目的の回路の構成及び前記検証目的の回路に備わる各配線の幅を示す回路データを入力する回路データ入力工程と、
前記回路データに基づいて直流動作点解析を行うことにより、前記各配線節点における直流電流値を算出する直流電流値算出工程と、
前記直流電流値算出工程で算出される前記各配線節点における直流電流値と、前記回路データが示す前記各配線節点の幅と、に基づいて前記各配線節点における電流密度値を算出する電流密度値算出工程と、
前記電流密度算出工程で算出される前記各配線節点における電流密度値と所定許容値とをそれぞれ比較する比較工程と、
前記比較工程における比較結果を出力する比較結果出力工程と、
を含むことを特徴とする回路検証方法。
IPC (4件):
G06F 17/50
, H01L 21/82
, H01L 21/320
, H01L 23/52
FI (4件):
G06F17/50 666Y
, H01L21/82 W
, H01L21/82 C
, H01L21/88 Z
Fターム (12件):
5B046AA08
, 5B046BA06
, 5B046JA01
, 5F033UU07
, 5F033XX05
, 5F064EE10
, 5F064EE22
, 5F064EE42
, 5F064EE43
, 5F064HH06
, 5F064HH09
, 5F064HH10
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
レイアウト検証装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-164615
出願人:三菱電機株式会社
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