特許

J-GLOBAL ID：200903058304663743

露光用マスク、露光装置、露光方法および液晶表示装置の製造方法

発明者： 真鍋 信久 ,  高橋 公男
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-065683
公開番号（公開出願番号）：特開2004-310063
出願日： 2004年03月09日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】 大型の被照射物に対しても所望の形状に露光を行なうことができ、かつ取扱いが容易で安価な露光用マスク、露光装置、露光方法および上記の露光方法を用いた液晶表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】 露光用マスクは、フレーム4と、フレーム4の内側の領域を被覆するように、フレーム4に固定されたメッシュ材1とを備える。メッシュ材1には、樹脂2で遮光パターンが形成されている。好ましくは、樹脂2は、紫外線硬化型樹脂である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

フレームと、 前記フレームの内側の領域を被覆するように、前記フレームに固定されたメッシュ材と を備え、前記メッシュ材には、樹脂で遮光パターンが形成されている、露光用マスク。

IPC (5件)：

G03F1/14 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1339 ,  G03F1/08 ,  G03F7/20

FI (5件)：

G03F1/14 B ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1339 505 ,  G03F1/08 G ,  G03F7/20 501

Fターム (32件)：

2H088FA04 ,  2H088FA09 ,  2H088FA10 ,  2H088FA25 ,  2H088FA26 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA08 ,  2H088HA14 ,  2H088HA21 ,  2H088HA28 ,  2H088MA20 ,  2H089MA04Y ,  2H089MA07Y ,  2H089NA22 ,  2H089NA24 ,  2H089NA44 ,  2H089NA45 ,  2H089NA56 ,  2H089NA60 ,  2H089QA12 ,  2H089QA16 ,  2H089TA01 ,  2H089TA09 ,  2H089TA13 ,  2H089TA17 ,  2H089TA18 ,  2H095BC05 ,  2H095BC27 ,  2H095BC38 ,  2H097GA45 ,  2H097LA12

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 電気光学装置の製造方法、電気光学装置および投射型表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-043351   出願人：セイコーエプソン株式会社