特許
J-GLOBAL ID:200903058312995178
クリーンルーム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-084550
公開番号(公開出願番号):特開2005-273945
出願日: 2004年03月23日
公開日(公表日): 2005年10月06日
要約:
【課題】 施工性とスペース効率に優れる有効なクリーンルームを実現する。【解決手段】 スタッカークレーン2の設置領域を清浄領域として設定してそこに清浄空気を吹き出すためのファンフィルターユニット4を清浄領域の上部に設ける。クリーンストッカー1はその上部にファンフィルターユニット10を具備してそれ自体で内部を清浄に維持可能である。レタンスペース5をクリーンストッカーの隣接位置にそのクリーンストッカーのケーシングを利用して周囲より区画することで形成する。クリーンストッカーを建屋の2階層にわたって上下に2段積みにして設置し、下段側のクリーンストッカーには下段側のスタッカークレーンを下階層の床面上に設置し、上段側のクリーンストッカーには上段側のスタッカークレーンを上層階の天井面より吊り支持して設置する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
クリーンストッカーおよびスタッカークレーンを設置するためのクリーンルームであって、スタッカークレーンの設置領域を清浄領域として設定してその清浄領域に清浄空気を吹き出すためのファンフィルターユニットを清浄領域の上部に設けるとともに、クリーンストッカーはその上部にファンフィルターユニットを具備してその内部空間がそれ自体で清浄領域とされ、かつ、前記清浄領域およびクリーンストッカー内に吹き出された清浄空気の還気経路であるレタンスペースをクリーンストッカーの隣接位置にそのクリーンストッカーのケーシングを利用して周囲より区画して形成したことを特徴とするクリーンルーム。
IPC (2件):
FI (3件):
F24F7/06 C
, F24F7/06 N
, B65G49/00 A
Fターム (2件):
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (4件)
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特開平4-233747
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自動倉庫
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-204472
出願人:村田機械株式会社
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特開平3-152004
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