特許
J-GLOBAL ID:200903058338312052

微弱磁場の計測装置及び計測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松下 義治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-132453
公開番号(公開出願番号):特開2005-315673
出願日: 2004年04月28日
公開日(公表日): 2005年11月10日
要約:
【課題】 超電導量子干渉素子(SQUID)を用いてSQUID磁気センサ自体を被検体表面を移動させながら、非接触で被検査試料の磁気を連続的に検出し、被検体の磁気分布等を得て非破壊的な検査を行う検査装置とその検査方法を提供する。【解決手段】 磁場或いは磁束に対して周期的な入出力特性を有するセンサと、前記センサからの出力をフィードバックすることにより、動作点を一点にロックして被検体の発する微弱な磁場を検出するセンサ駆動機構と、少なくとも前記センサを移動させる移動機構と、前記移動機構の移動/停止を制御する移動制御部と、前記移動制御部による移動/停止に連動し、前記センサ駆動機構のロック状態とロック解除状態の切り替えを制御する計測動作制御部とを有する微弱磁場の計測装置とする。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
磁場或いは磁束に対して周期的な入出力特性を有するセンサと、 前記センサからの出力をフィードバックすることにより、動作点を一点にロックして被検体の発する微弱な磁場を検出するセンサ駆動機構と、 少なくとも前記センサを移動させる移動機構と、 前記移動機構の移動/停止を制御する移動制御部と、 前記移動制御部による移動/停止に連動し、前記センサ駆動機構のロック状態とロック解除状態の切り替えを制御する計測動作制御部と、 を有することを特徴とする微弱磁場の計測装置。
IPC (1件):
G01R33/035
FI (1件):
G01R33/035
Fターム (4件):
2G017AA01 ,  2G017AA13 ,  2G017AB02 ,  2G017AD32
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 非破壊検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-319120   出願人:住友電気工業株式会社
審査官引用 (2件)

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