特許
J-GLOBAL ID：200903058460992714

有機層を蒸着するための方法及び装置

発明者：
マイケル エー.マーカス

マイケル エー.マーカス について

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アンナ エル.ヒリシン

アンナ エル.ヒリシン について

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スティーブン エー.バン スリク

スティーブン エー.バン スリク について


出願人/特許権者：
イーストマン コダック カンパニー

イーストマン コダック カンパニー について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-114385
公開番号（公開出願番号）：特開2002-373782
出願日： 2002年04月17日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：
【要約】【課題】 蒸着有機層厚を制御するための再使用可能なセンサを提供すること。【解決手段】 有機発光デバイスの一部を形成する構造体の上に蒸発又は昇華した有機層を蒸着するための方法であって、(a)該有機発光デバイスの層を形成する有機材料を蒸着ゾーンにおいて蒸着させる工程;(b)該蒸着ゾーン内へ移動し、かつ、該蒸着工程中に被覆されたときに、該層を形成する該有機材料の厚さを代表する信号を提供する可動センサ、を提供する工程;(c)該信号に応じて該有機材料の蒸着を制御することにより、該構造体上に形成される該有機層の蒸着速度及び厚さを制御する工程;(d)該可動センサを該蒸着ゾーンから洗浄位置へ移動させる工程;並びに(e)該可動センサから有機材料を除去することにより、該可動センサの再使用を可能ならしめる工程を含んで成る方法。
請求項（抜粋）：
有機発光デバイスの一部を形成する構造体の上に蒸発又は昇華した有機層を蒸着するための方法であって、(a) 該有機発光デバイスの層を形成する有機材料を蒸着ゾーンにおいて蒸着させる工程;(b) 該蒸着ゾーン内へ移動し、かつ、該蒸着工程中に被覆されたときに、該層を形成する該有機材料の厚さを代表する信号を提供する可動センサ、を提供する工程;(c) 該信号に応じて該有機材料の蒸着を制御することにより、該構造体上に形成される該有機層の蒸着速度及び厚さを制御する工程;(d) 該可動センサを該蒸着ゾーンから洗浄位置へ移動させる工程;並びに(e) 該可動センサから有機材料を除去することにより、該可動センサの再使用を可能ならしめる工程を含んで成る方法。
IPC (4件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/54 ,  H05B 33/14
FI (4件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/54 C ,  H05B 33/14 A
Fターム (9件)：
3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029DA09 ,  4K029EA01 ,  4K029EA02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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