磁気検出素子とその製造方法および磁気検出装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-132257
公開番号（公開出願番号）：特開平11-325960
出願日： 1998年05月14日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】基板に抵抗器およびコンデンサを半田付けしており、作業に時間がかかるため、磁気検出装置の生産効率が低く、製造コストが嵩んでいた。抵抗器およびコンデンサを組付けるための設置スペースが基板上に必要となるため、磁気検出素子の小型化が困難であった。【解決手段】基板上に形成され、磁界の変化を検出する巨大磁気抵抗素子と、基板上に形成され、磁界の変化に基づいて所定の演算処理を行う集積回路と、集積回路の入力側および出力側にそれぞれ設けられた入力側保護抵抗器および出力側保護抵抗器とを備えてなり、入力側抵抗器および出力側抵抗器を、集積回路を形成するための金属膜と同一の金属膜で構成した。

請求項（抜粋）：

基板上に形成され、磁界の変化を検出する巨大磁気抵抗素子と、上記基板上に形成され、上記巨大磁気抵抗素子によって検出される磁界の変化に基づいて、所定の演算処理を行う集積回路と、上記集積回路の入力側および出力側にそれぞれ設けられた入力側保護抵抗器および出力側保護抵抗器とを備えてなり、上記入力側抵抗器および出力側抵抗器を、上記集積回路を形成するための金属膜と同一の金属膜で構成したことを特徴とする磁気検出素子。

IPC (3件)：

G01D 5/245 , G01P 3/488 , H01L 43/08

FI (3件)：

G01D 5/245 R , G01P 3/488 D , H01L 43/08 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

磁気センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-299313 出願人：日本電気株式会社
特開平1-143916
特開平1-143916

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