特許

J-GLOBAL ID：200903058511282687

強誘電体膜の製造方法

発明者： 荻本 泰史 ,  増田 義行
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-052185
公開番号（公開出願番号）：特開平7-267731
出願日： 1994年03月23日
公開日（公表日）： 1995年10月17日
要約：

【要約】【目的】 分極方向と配向方向の一致を実現することができる強誘電体薄膜の製造方法を提供することを目的としている。【構成】 少なくとも(Pb1-y Ay )(Bx C1-x )O3 〔但し、1>y≧0、1>x>0、AはLa又はEr、B及びCは互いに異なってZr、Ti、Mg及びNbからなる群から選択された元素〕で表される鉛系ペロブスカイト型強誘電体を構成する各元素の塩、無水有機溶剤及び酸からなる非水溶液に、上記式を構成する元素であるBとCとの使用モル数の総和の2倍モル数未満の水を添加して前駆体溶液を調製し、該前駆体溶液を用いて、ゾル-ゲル法により、強誘電体相の結晶系が菱面体晶であり、かつ分極軸が [111] となる強誘電体膜を形成する強誘電体膜の製造方法。

請求項（抜粋）：

少なくとも下記式(I)(Pb1-y Ay )(Bx C1-x )O3 (I)〔但し、1>y≧0、1>x>0、AはLa又はEr、B及びCは互いに異なってZr、Ti、Mg及びNbからなる群から選択された元素〕で表される鉛系ペロブスカイト型強誘電体を構成する各元素の塩、無水有機溶剤及び酸からなる非水溶液に、上記式(I)を構成する元素であるBとCとの使用モル数の総和の2倍モル数未満の水を添加して前駆体溶液を調製し、該前駆体溶液を用いて、ゾル-ゲル法により、強誘電体相の結晶系が菱面体晶であり、かつ分極軸が [111] となる強誘電体膜を形成することを特徴とする強誘電体膜の製造方法。

IPC (6件)：

C04B 35/49 ,  C01G 25/00 ,  C01G 33/00 ,  C01G 45/00 ,  C23C 14/08 ,  C30B 29/32

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 強誘電体薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-162532   出願人：ローム株式会社
• 特表平4-506791
  
• 配向性強誘電体薄膜の作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-319230   出願人：富士ゼロックス株式会社
• 特開昭64-054785