特許
J-GLOBAL ID：200903058526451515

液体または気体に含まれるオゾンの濃度を間接的に測定する方法および装置

発明者：
小金澤 明央

小金澤 明央 について

, 
望月 邦浩

望月 邦浩 について


出願人/特許権者：
有限会社テエイク・ワン総合事務所

有限会社テエイク・ワン総合事務所 について


代理人 (1件)： 一色 健輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-254739
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074680
出願日： 1999年09月08日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】 半導体ガスセンサーによる高濃度のオゾン濃度の測定を可能とし、かつ、測定対象物のオゾン濃度の経時的な測定が可能な、液体または気体に含まれるオゾンの濃度を間接的に測定する方法および装置を提供する。【解決手段】 壁体の一部のみを通気性膜体3で構成したガス拡散室5を設け、その内部に室内のオゾンガスに感応する半導体ガスセンサー7を設け、測定対象となる液体または気体を通気性膜体3の外面空間に安定的に存在させるプロセスの実行中または実行前に、ガス拡散室5内を規定の基準雰囲気にセットし、その後ガス拡散室5を閉塞して前記プロセスを続行または開始し、前記測定対象に含まれるオゾンガスを通気性膜体3を通してガス拡散室5内に拡散させ、拡散させ始めてからの経過時間と半導体ガスセンサー7の出力とに基づいて測定対象のオゾン濃度に相関するデータを求めて出力する。
請求項（抜粋）：
つぎの事項(1)〜(6)により特定される発明。(1)液体または気体に含まれるオゾンの濃度を測定する方法である。(2)内外を隔てる壁体の一部のみを通気性膜体で構成したガス拡散室を設ける。(3)前記ガス拡散室に、室内のオゾンガスに感応する半導体ガスセンサーを付設するとともに、前記ガス拡散室内を換気する手段を設ける。(4)測定対象となる液体または気体を前記通気性膜体の外面空間に安定的に存在させる対象アクセスプロセスの実行中または実行前に、前記換気手段により前記ガス拡散室内を規定の基準雰囲気にセットする初期化プロセスを実行する。(5)前記初期化プロセスの実行後、前記対象アクセスプロセスを続行または開始し、前記測定対象に含まれるオゾンガスを前記通気性膜体を通して前記ガス拡散室内に拡散させる。(6)前記ガス拡散室内にオゾンガスを拡散させ始めてからの経過時間と前記半導体ガスセンサーの出力とに基づいて前記測定対象のオゾン濃度に相関するデータを求めて出力する。
IPC (3件)：
G01N 27/12 ,  G01N 1/10 ,  G01N 1/22
FI (3件)：
G01N 27/12 A ,  G01N 1/10 B ,  G01N 1/22 J
Fターム (5件)：
2G046AA15 ,  2G046DC01 ,  2G046DC05 ,  2G046DC06 ,  2G046DC18
引用特許：
審査官引用 (3件)

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