特許

J-GLOBAL ID：200903058557943068

静電容量型トランスデューサ

発明者： 横山 誠一 ,  海瀬 文男 ,  伊東 弘次 ,  関森 幸満
出願人/特許権者： 長野計器株式会社
代理人 (1件)： 木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-316237
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160611
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 良好なボンディング性を確保するとともに、高い検出精度を確保できかつ耐食性を向上できる静電容量型トランスデューサを提供すること。【解決手段】 基板30と、この基板30に対して変位可能に空隙を介して対向配置された可動電極20と、基板30の可動電極20と対向する検出面30Aに設けられた固定電極31,32と、この固定電極31,32に導通されかつ基板30の検出面30Aから引き出された信号取出部34,35とを有する静電容量型トランスデューサ10において、固定電極31,32および信号取出部34,35を互いに異なる組成の金属により形成する。これにより、固定電極31,32および信号取出部34,35にそれぞれ所望の特性を持たせることができる。

請求項（抜粋）：

基板と、この基板に対して変位可能にかつ空隙を介して対向配置された可動電極と、前記基板の前記可動電極と対向する検出面に設けられた固定電極と、この固定電極に導通されかつ前記基板の検出面から引き出された信号取出部とを有し、前記固定電極および前記信号取出部は互いに異なる組成の金属からなることを特徴とする静電容量型トランスデューサ。

IPC (2件)：

G01L 9/12 ,  G01L 19/06

FI (2件)：

G01L 9/12 ,  G01L 19/06 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭55-055235
  
• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-001525   出願人：株式会社長野計器製作所

審査官引用 (2件)

• 特開昭55-055235
  
• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-001525   出願人：株式会社長野計器製作所