特許
J-GLOBAL ID：200903070075322686
圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-001525
公開番号（公開出願番号）：特開平8-189870
出願日： 1995年01月09日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：
【要約】【目的】 電極とダイアフラムとの間隔やダイアフラム厚さがミクロンオーダーである場合にも高湿度下での絶縁性が確実に保たれ、高湿度下でも正確な圧力測定が可能な圧力センサを提供する。【構成】 それぞれがダイアフラム1との間に空隙を形成しつつダイアフラム1に接合された一対の絶縁物2,2′の空隙内での露出面、またはダイアフラム1の一方の面との間に空隙を形成しつつダイアフラム1に接合された絶縁物2とダイアフラム1の他方の面との間に空隙を形成しつつダイアフラム1に接合された支持体6との組合わせを構成する絶縁物2の空隙内での露出面を構成する分子または原子の少なくとも一部に疎水基を有する分子を結合させてこれらの面に撥水性を付与する。
請求項（抜粋）：
半導体または金属からなるダイアフラムが一対の絶縁物により挟持され、前記ダイアフラムと一方の絶縁物との間及び前記ダイアフラムと他方の絶縁物との間にはそれぞれ空隙が形成され、かつ各絶縁物における前記ダイアフラムとの対向面には電極が形成され、前記ダイアフラムの周縁部または前記一方の絶縁物には一方の空隙に測定圧を導入する測定圧導入孔が形成され、前記ダイアフラムの周縁部または前記他方の絶縁物には他方の空隙に基準圧を導入する基準圧導入孔が形成され、前記各電極と前記ダイアフラムとの間の静電容量の変化を電気的に検出することにより圧力を計測する圧力センサであって、前記各絶縁物における前記空隙内での露出面を構成する分子または原子の少なくとも一部に疎水基を有する分子を結合させることによりこれらの面に撥水性を付与してなることを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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