特許
J-GLOBAL ID:200903058564451707

積層型圧電アクチュエータ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-246640
公開番号(公開出願番号):特開2001-069771
出願日: 1999年08月31日
公開日(公表日): 2001年03月16日
要約:
【要約】【課題】高温の使用環境下、高い印加電界で高速で連続駆動させる場合においても、外部電極と内部電極が断線することなく高耐久性を備えた積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】導電性セラミックス、金属酸化物、又は周期律表第6族〜第9族金属及びその合金の少なくとも1種以上からなる導電剤を15〜80体積%と、残部がマトリックスとして5%重量減少温度250°C以上の樹脂からなる導電性耐熱接着剤4aにて外部電極4を構成する。
請求項(抜粋):
複数の圧電体と複数の内部電極とを交互に積層し、各内部電極を一層おきに相対する極をもつ同一の外部電極に接続させてなる積層型圧電アクチュエータにおいて、前記外部電極は、導電性セラミックス、金属酸化物、又は周期律表第6族〜第9族金属及びその合金の少なくとも1種以上からなる導電剤を15〜80体積%、残部がマトリックスとして5%重量減少温度250°C以上の樹脂から成る導電性耐熱接着剤で形成されていることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (2件):
H02N 2/00 ,  H01L 41/083
FI (2件):
H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 Q
引用特許:
審査官引用 (3件)

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