多機能エアフィルター及び該フィルターが組込まれた空気循環式クリーンユニット

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岩見谷周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-321586
公開番号（公開出願番号）：特開平7-204439
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：

【要約】【構成】本発明の多機能エアフィルターは、エア導入側開口部(1)とエア排出側開口部(2)を有するフィルターケース(3)、該フィルターケースの内部にリークの無いように周縁が固定されたプリーツ状エアフィルターエレメント(4)とから成り、該エアフィルターエレメントの折り畳みによって形成されているエア導入側溝内には、化学物質吸収性繊維で織られた少なくとも1枚のフィルターエレメント布(5)が配置されていることを特徴とする。このエアーフィルターは、ケミカルフィルターとしての半導体工場内の空間を占有する容積を大巾に低減できるので、設置に融通性が出、ケミカルフィルターの通用範囲が広まる。しかもその多機能化はフェルト状エレメント布の取付けだけで、実施が容易である。

請求項（抜粋）：

エア導入側開口部とエア排出側開口部を有するフィルターケース、該フィルターケースの内部に前記エア導入側開口部から前記エア排出側開口部へのエア流を横断する形で配置され、周縁が前記ケースに隙間なく固定されているプリーツ状エアフィルターエレメントとから成り、該エアフィルターエレメントのプリーツ状折り畳みによって形成されているエア導入側溝内には、化学物質吸収性繊維で織られた少なくとも1枚のフィルターエレメント布が配置されている多機能エアフィルター。

IPC (9件)：

B01D 46/52 ZAB , B01D 39/14 , B01D 46/42 , B01D 53/34 ZAB , B01D 53/81 ZAB , B01D 53/50 , B01D 53/81 , B01D 53/56 , B01D 53/68

FI (4件)：

B01D 53/34 ZAB A , B01D 53/34 123 A , B01D 53/34 129 A , B01D 53/34 134 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-326914
特開平4-247207
特開昭48-057883

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