特許
J-GLOBAL ID:200903058674449759
走査型レーザ顕微鏡
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-207834
公開番号(公開出願番号):特開2000-039562
出願日: 1998年07月23日
公開日(公表日): 2000年02月08日
要約:
【要約】【課題】本発明は、視野内の任意の部位で自動合焦の動作を行う。【解決手段】操作部31に対して試料13上の合焦画像を得たい部位が指示されると、制御部30の輝度情報取得部32は、かかる試料13面上の合焦画像を得たい部位に光ビームを照射するように第1及び第2のガルバノミラー3、9の偏向角を停止制御する。
請求項(抜粋):
レーザ光源と、このレーザ光源からのレーザ光を試料面上に集光する対物レンズと、この対物レンズの瞳位置と共役な位置に配置され前記対物レンズに入るレーザ光を偏向することで前記試料面上を走査する光偏向部材と、前記試料からの光を検出する検出器と、この検出器で検出された画像信号を基に画像を表示するモニタとを備えた走査型レーザ顕微鏡において、前記試料面上で合焦画像を得たい部位を指示する操作部と、この操作部で指示した部位に前記レーザ光が照射されるように前記光偏向部材の偏向角を制御し、前記試料からの光の輝度情報が最大となるように前記対物レンズと前記試料の少なくとも一方を移動させ合焦制御を行う制御手段と、を具備したことを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
IPC (3件):
G02B 21/16
, G01N 21/27
, G02B 21/00
FI (3件):
G02B 21/16
, G01N 21/27 E
, G02B 21/00
Fターム (18件):
2G059AA05
, 2G059BB16
, 2G059FF01
, 2G059FF03
, 2G059GG01
, 2G059GG04
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ19
, 2G059JJ22
, 2G059KK04
, 2G059KK10
, 2G059LL01
, 2H052AA08
, 2H052AC15
, 2H052AC34
, 2H052AD09
, 2H052AF23
引用特許:
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