特許
J-GLOBAL ID：200903058681427647
走査光学系の走査位置測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-033144
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230858
出願日： 1998年02月16日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】走査位置を所望の高精度で測定できる、走査光学系の走査位置測定装置を実現する。【解決手段】レーザ光束を被走査面上に光スポットとして集光させ、被走査面を走査する走査光学系の、被走査面上の所望の主走査位置における副走査方向の走査位置を測定する装置であって、測定用のCCDセンサ11と、CCDセンサ11を、その受光面が被走査面に等価な測定面に沿って主走査方向へ変位するように変位させるセンサ変位手段8,SMと、CCDセンサ11の受光情報信号に基づき光スポットの副走査方向の中心位置を演算する制御演算手段6,7とを有し、CCDセンサ11がラインセンサであって、その受光エレメント配列方向を、測定面上における副走査方向に対して傾け、その傾き角の調整により所望の測定分解能を設定する。
請求項（抜粋）：
レーザ光束を被走査面上に光スポットとして集光させ、上記被走査面を走査する走査光学系の、上記被走査面上の所望の主走査位置における副走査方向の走査位置を測定する装置であって、測定用のCCDセンサと、該CCDセンサを、その受光面が被走査面に等価な測定面に沿って主走査方向へ変位するように変位させるセンサ変位手段と、上記CCDセンサの、上記光スポットの走査による受光情報信号に基づき、上記光スポットの副走査方向の中心位置を演算する制御演算手段とを有し、上記CCDセンサがラインセンサであって、その受光エレメント配列方向を、測定面上における副走査方向に対して傾け、その傾き角の調整により所望の測定分解能を設定することを特徴とする、走査光学系の走査位置測定装置。
引用特許：
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