基板処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福島祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-351543
公開番号（公開出願番号）：特開2004-186426
出願日： 2002年12月03日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：

【課題】基板の搬送方向における省スペース化が実現可能な基板処理装置を提供する。【解決手段】基板の処理はインデクサー部2から露光機50までの行きラインと露光機50からインデクサー部2までの帰りラインとで行われる。行きラインと帰りラインは、矢印Yの方向に沿って並列に配置されている。行きラインでは、洗浄ユニット10、ポストベークユニット90b、脱水ベークユニット20a、レジスト塗布ユニット30およびプリベークユニット40a,40bがインデクサー部2から順に配列され、帰りラインでは、現像ユニット80、脱水ベークユニット20b、ポストベークユニット90aおよび空冷ユニット98が露光機50側から順に配列されている。プリベークユニット40a,40bに隣接してガイドレール4rに沿って移動する可動型旋回ロボット4hが設けられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を所定方向に沿って順次搬送しつつ他の処理装置の前処理および後処理を行う基板処理装置であって、前記所定方向に沿って並列に配置された第1および第2の処理経路を有し、前記第1の処理経路の一端部に基板を搬入する第1の搬入部を有しかつ前記第1の処理経路の他端部に基板を搬出する第1の搬出部を有し、前記第2の処理経路の一端部に基板を搬出する第2の搬出部を有しかつ前記第2の処理経路の他端部に基板を搬入する第2の搬入部を有し、前記第1の処理経路に配置され、前記前処理を行う1以上の第1の基板処理ユニットと、前記第2の処理経路に配置され、前記後処理を行う1以上の第2の基板処理ユニットと、基板に温度処理を行う複数の温度処理ユニットとを備え、前記複数の温度処理ユニットの各々は複数の処理部を有し、前記複数の温度処理ユニットのうち少なくとも1つの温度処理ユニットについて、当該温度処理ユニットを構成する少なくとも2つの処理部が前記第1および第2の処理経路のうち少なくとも一方に前記所定方向に沿って隣接するように配置されたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L21/68 , H01L21/027

FI (2件)：

H01L21/68 A , H01L21/30 562

Fターム (26件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA14 , 5F031FA15 , 5F031GA02 , 5F031GA42 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA51 , 5F031MA02 , 5F031MA03 , 5F031MA06 , 5F031MA09 , 5F031MA23 , 5F031MA24 , 5F031MA26 , 5F031MA30 , 5F046JA22 , 5F046KA10 , 5F046LA18

引用特許：

審査官引用 (3件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-056855 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-345150 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-046329 出願人：東京エレクトロン株式会社

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