特許
J-GLOBAL ID：200903058701979889

マイクロ波励起ガスレーザ発振装置

発明者：
岩崎 泰

岩崎 泰 について

, 
久保 昌彦

久保 昌彦 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-205108
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054817
出願日： 1997年07月31日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 マイクロ波励起レーザに使用するマグネトロンを長寿命化する。【解決手段】 発振ON/OFF信号および出力状態指令信号により、マグネトロン2の発振停止、連続運転、断続運転に対応して、ヒータ回路201でヒータ電圧を制御し、マグネトロンの断続出力時のヒータ電圧を、ヒータ温度が高温となるマグネトロン2の連続出力時のヒータ電圧よりも大きく、かつヒータ温度が低くなるマグネトロン2の発振停止時のヒータ電圧よりも小さく制御することにより、ヒータ温度の温度変化を小さくし、かつマグネトロン2が安定して発振可能な下限のヒータ温度となるように設定した。
請求項（抜粋）：
放電によりガスを励起してレーザ光を発生する放電管と、前記放電管にマイクロ波を供給するマグネトロンと、前記マグネトロンに電源を供給するマイクロ波電源装置を備え、前記マイクロ波電源装置に、前記マグネトロンのヒータにヒータ電圧を供給するヒータ回路と、前記マグネトロンのアノード、カソード間に高電圧を供給する高圧発生回路を設け、前記ヒータ回路は、前記マグネトロンの発振停止時、連続出力時、断続出力時に応じて、ヒータ回路からマグネトロンに出力されるヒータ電圧を制御するように構成したマイクロ波励起ガスレーザ発振装置。
IPC (2件)：
H01S 3/036 ,  H01S 3/097
FI (2件)：
H01S 3/03 J ,  H01S 3/097 Z
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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