特許
J-GLOBAL ID：200903018857092505

マイクロ波ガスレーザ発振装置

発明者：
岩崎 泰

岩崎 泰 について

, 
山根 茂樹

山根 茂樹 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 粟野 重孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-322199
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148663
出願日： 1995年11月16日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 リップルが小さいく安定な連続出力のレーザ光出力、およびピーク出力が大きく安定なパルス出力のレーザ光出力が得られるマイクロ波励起のレーザガスレーザ発振装置を提供する。【解決手段】 内部にレーザガスが流れる放電管3ごとに、N個のマグネトロン1によるマイクロ波発振回路と、それぞれに対応するN個のマイクロ波電源4とを備え、各マグネトロン1はそれぞれのマイクロ波電源4のスイッチング駆動により間欠発振する。連続出力動作において、メイン制御回路6はN個のマイクロ波電源4からなる電源ユニット5ごとに基準クロックを与え、電源ユニット5内の各マイクロ波電源4は前記基準クロックと同一スイッチング周波数で、かつ移相器7を介することによりθ=360°/Nづつ順次ずらしたスイッチング位相でマグネトロン1をスイッチング駆動し、マイクロ波が時間的に均一に分散されて放電管3に注入され、リップルが低減される。
請求項（抜粋）：
レーザガスが流れる1本以上の放電管と、前記放電管ごとに外部に設けたマイクロ波発生手段および電源ユニットを備え、前記マイクロ波発生手段は複数個のマイクロ波発生回路を備えるとともに前記電源ユニットは前記マイクロ波発生回路ごとに設けたマイクロ波電源を備え、前記マイクロ波発生回路がそれぞれのマイクロ波電源のスイッチング駆動により間欠発振して前記放電管にマイクロ波を供給し、前記マイクロ波が前記放電管内に発生させる放電をレーザ励起源としてレーザ光を発生するガスレーザ発振装置において、すべての前記電源ユニットを統括制御する制御手段を設け、前記制御手段は各電源ユニットごとに基準クロックを出力し、各電源ユニットは入力した前記基準クロックを基に対応する前記マイクロ波発生回路を駆動することにより、各放電管に注入するマイクロ波のスイッチング位相を前記基準クロックにより制御するようにしたガスレーザ発振装置。
IPC (2件)：
H01S 3/134 ,  H01S 3/097
FI (2件)：
H01S 3/134 ,  H01S 3/097 A
引用特許：
審査官引用 (4件)
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