特許
J-GLOBAL ID：200903058708849506
屈折率分布の測定装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-195230
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021448
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 レンズ等の被検物の屈折率分布を精度良く測定できる装置及び方法を提供する。【解決手段】 同一光源からの可干渉光を参照波aと被検波bとに分割し、被検物Aとほぼ同一の屈折率のマッチング液内に保持した被検物収容器30に上記被検波を透過させビームスプリッタ11にて基準となる参照波と重畳させる二光束干渉計と、該二光束干渉計にて重畳された光束を干渉縞像として結像可能な結像光学系15〜21と、該結像光学系により結像する光像を検出する干渉縞像検出器22,23と、該干渉縞像検出器の検出結果から被検物Aの屈折率分布を求める演算装置24と、を有する位相分布測定装置であって、上記二光束干渉計には、ビームスプリッタ11をその光軸方向に波長オーダで変位させる光路差可変手段13と、上記被検物Aの被検波透過位置を光軸の直交方向へ移動させる透過位置変位手段とを備え、上記結像光学系には、上記干渉計からの光束を非干渉光に変換する拡散手段17と、該拡散手段から入射し干渉縞像検出器22,23に結像する干渉縞の大きさを可変とする変倍手段18とを備える構成である。
請求項（抜粋）：
可干渉光を出射する光源と、該光源からの可干渉光を被検波と参照波とに分割する手段と、測定対象である被検物を該被検物とほぼ同一の屈折率のマッチング液内に保持する被検物収容器と、該被検物収容器を透過した被検波と上記参照波とを重畳させ干渉させる重畳手段と、該重畳手段から出射された光束を干渉縞像として結像させる結像光学系と、該結像光学系により結像する光像を検出する干渉縞像検出器と、該干渉縞像検出器の検出結果から被検物の屈折率分布を求める演算装置と、を有する屈折率分布の測定装置において、上記マッチング液の屈折率をほぼ均一に維持するための制御手段を備えたことを特徴とする屈折率分布の測定装置。
Fターム (1件)：
引用特許：
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