特許
J-GLOBAL ID：200903088901080097

屈折率分布の測定方法及び装置

発明者：
須原 浩之

須原 浩之 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-281281
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111244
出願日： 1996年10月03日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】 干渉縞計測により被検物の屈折率分布を測定するに際し、予め結像倍率を正確に把握し、高精度に測定できる方法、測定装置を提供する。【解決手段】 同一光源1からの可干渉光を基準となる参照波と被検物Oを透過する被検波とに光分割器5で分割し、参照波と被検波とを重畳して光重畳器11で重畳し、検出器15上に干渉縞を形成し、演算装置16により干渉縞を解析することにより被検物Oの屈折率分布を測定する方法において、上記干渉縞の解析に先だって、上記被検物Oの近傍に既知の径の開口27を挿入し、上記検出器15上に生じる開口像により結像倍率を測定する。検出器15上の被検物Oの大きさを正確に把握できるので、測定精度が向上する。
請求項（抜粋）：
同一光源からの可干渉光を基準となる参照波と被検物を透過する被検波とに分割し、参照波と被検波とを重畳して検出器上に干渉縞を形成し、該干渉縞を解析することにより被検物の屈折率分布を測定する方法において、上記干渉縞の解析に先だって、上記被検物の近傍に既知の径の開口を挿入し、上記検出器上に生じる開口像により結像倍率を測定することを特徴とする屈折率分布の測定方法。
IPC (3件)：
G01N 21/41 ,  G01M 11/00 ,  G01M 11/02
FI (3件)：
G01N 21/41 Z ,  G01M 11/00 L ,  G01M 11/02
引用特許：
審査官引用 (2件)

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