特許

J-GLOBAL ID：200903058722283833

プローバ装置

発明者： 林 茂樹
出願人/特許権者： NECエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 速水 進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-151503
公開番号（公開出願番号）：特開2005-333045
出願日： 2004年05月21日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【課題】 プローブと半導体回路とを最適なコンタクト圧状態に保ちつつ被測定半導体回路の電気的特性が測定可能なプローバ装置を提供する。【解決手段】 半導体回路が形成されたウェハ53をその上面55aに載置するチャック55と、半導体回路と接触するプローブ針63の針先63aを有し、半導体回路の電気的特性を測定するプローブカード61と、チャック55の位置を制御するチャック位置制御部71と、時間を計測するタイマ部75と、所定の時間間隔毎の針先63aの測定開始位置に対する移動距離を位置変動テーブル81に記憶する変動データ保存部77と、時間間隔毎に、位置変動テーブル81を参照し、移動距離を取得し、チャック55の移動位置を算出する算出部79と、を備え、チャック位置制御部71は、移動位置に基づいて、チャック55の位置を制御する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

半導体回路が形成された一面を有するウェハをその上面に載置するステージと、 前記半導体回路と接触する針先を有し、前記半導体回路の電気的特性を測定するプローブと、 前記ステージまたは前記プローブの位置を制御する位置制御部と、 時間を計測する計時部と、 所定の時間間隔毎の前記プローブの前記針先の測定開始位置に対する移動距離を位置変動テーブルに記憶する記憶部と、 前記時間間隔毎に、前記位置変動テーブルを参照し、前記移動距離を取得し、前記ステージおよび前記プローブの移動位置を算出する算出部と、 を備え、 前記位置制御部は、前記移動位置に基づいて、前記ステージまたは前記プローブの前記位置を制御することを特徴とするプローバ装置。

IPC (3件)：

H01L21/66 ,  G01R1/06 ,  G01R31/28

FI (3件)：

H01L21/66 B ,  G01R1/06 E ,  G01R31/28 K

Fターム (27件)：

2G011AA02 ,  2G011AA03 ,  2G011AB10 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AC31 ,  2G011AE03 ,  2G132AA00 ,  2G132AB01 ,  2G132AE01 ,  2G132AE02 ,  2G132AE04 ,  2G132AE18 ,  2G132AE23 ,  2G132AF06 ,  2G132AF07 ,  2G132AF11 ,  2G132AL03 ,  2G132AL09 ,  2G132AL11 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD06 ,  4M106DH46 ,  4M106DJ21

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平1-270243号公報
  

審査官引用 (1件)

• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-269546   出願人：東京エレクトロン山梨株式会社