特許

J-GLOBAL ID：200903058771845880

金属蒸着被膜における突起物生成の抑制方法

発明者： 西内 武司 ,  菊井 文秋 ,  栃下 佳己
出願人/特許権者： 住友特殊金属株式会社
代理人 (1件)： 清水 善▲廣▼ (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-199749
公開番号（公開出願番号）：特開2002-088468
出願日： 2001年06月29日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】 希土類系永久磁石などの被処理物の表面にアルミニウムや亜鉛などの金属蒸着被膜を形成した際、該被膜に突起物が生成してしまうことを効果的に抑制する方法を提供すること。【解決手段】 真空処理室内に、蒸着材料の蒸発部と、被処理物を収容および/または保持するための収容部材および/または保持部材を備えた蒸着装置を用い、前記収容部材および/または前記保持部材を水平方向の回転軸線を中心に回転させながら、金属蒸着材料を被処理物の表面に蒸着させるに際し、被処理物の表面に形成された被膜のビッカース硬度を25以上に維持して蒸着を行うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

真空処理室内に、蒸着材料の蒸発部と、被処理物を収容および/または保持するための収容部材および/または保持部材を備えた蒸着装置を用い、前記収容部材および/または前記保持部材を水平方向の回転軸線を中心に回転させながら、金属蒸着材料を被処理物の表面に蒸着させるに際し、被処理物の表面に形成された被膜のビッカース硬度を25以上に維持して蒸着を行うことを特徴とする金属蒸着被膜における突起物生成の抑制方法。

IPC (2件)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/50

FI (2件)：

C23C 14/24 P ,  C23C 14/50 J

Fターム (8件)：

4K029AA02 ,  4K029AA22 ,  4K029BA03 ,  4K029BA18 ,  4K029CA03 ,  4K029CA17 ,  4K029DA01 ,  4K029EA08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-104656
  
• 表面処理用支持部材、表面処理用ホルダ-、表面処理方法並びに表面処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-265400   出願人：住友特殊金属株式会社
• O,N,Cを含有するZn系めっき鋼板及び製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-205112   出願人：日新製鋼株式会社
• 特開昭63-069965