パーフルオロ化合物ガスの分離回収方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-365598
公開番号（公開出願番号）：特開2000-185212
出願日： 1998年12月22日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：

【要約】【課題】本発明は、パーフルオロ化合物ガスとキャリアーガスの混合物ガスから、パーフルオロ化合物ガスを効率的に分離回収する方法およびその装置を提供することを目的とする。【解決手段】少なくとも1種のパーフルオロ化合物ガスおよび少なくとも1種のキャリアーガスを包含する混合ガスを、非対称性中空糸炭素膜に供給し、膜の透過側からパーフルオロ化合物の含有量の減少した少なくとも1種のキャリアーガスからなるガスを取り出し、膜の非透過側から実質的に少なくとも1種のパーフルオロ化合物が濃縮されたガスを回収することを特徴とする、パーフルオロ化合物ガスの分離回収方法および炭素膜を使用したパーフルオロ化合物分離回収装置を用いることにより、従来の分離膜では達成できなかった高い分離効率でパーフルオロ化合物を分離回収できる。

請求項（抜粋）：

少なくとも1種のパーフルオロ化合物ガスおよび少なくとも1種のキャリアーガスを包含する混合ガスを、非対称性中空糸炭素膜に供給し、膜の透過側からパーフルオロ化合物の含有量の減少した少なくとも1種のキャリアーガスからなるガスを取り出し、膜の非透過側から実質的に少なくとも1種のパーフルオロ化合物が濃縮されたガスを回収することを特徴とする、パーフルオロ化合物ガスの分離回収方法。

IPC (3件)：

B01D 53/22 ZAB , B01D 63/02 , B01D 71/02 500

FI (3件)：

B01D 53/22 ZAB , B01D 63/02 , B01D 71/02 500

Fターム (25件)：

4D006GA41 , 4D006HA02 , 4D006HA18 , 4D006KE06P , 4D006MA01 , 4D006MA25 , 4D006MA31 , 4D006MA33 , 4D006MB03 , 4D006MB04 , 4D006MB13 , 4D006MB15 , 4D006MC05X , 4D006MC39 , 4D006MC58X , 4D006MC89 , 4D006NA04 , 4D006NA10 , 4D006NA62 , 4D006NA63 , 4D006NA64 , 4D006PA02 , 4D006PB19 , 4D006PB70 , 4D006PC01

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平4-011933
パーフルオロ化合物ガスの分離および回収方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-187877 出願人：レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード

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