特許
J-GLOBAL ID：200903058797601199
表面変形検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 繁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-151251
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005056
出願日： 1995年06月19日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】 被検査物の表面の変形を、その大きさと共に検出する。【構成】 リニアセンサ5に入射する光の通過する光学系平面を缶1の稜線7に合わせリニアセンサ5の両側から斜めに照射し、その正反射光がリニアセンサ5に入射しないように帯状光源6を配置する。回転装置2により缶1を回転し、エンコーダ3により回転位置を検出する。この回転位置とリニアセンサ5の出力から画像プロセッサ24で二次元画像を生成し、この画像を2値化処理し、変形の検出、その大きさの測定を行う。
請求項（抜粋）：
被検査物を撮像するリニアセンサと、このリニアセンサに入射する光の通過する光学系平面内で前記被検査物を前記リニアセンサの両側から被検査物に対し斜めに照明し、変形していない場所からの反射光が前記リニアセンサに入射しないように配置された帯状光源と、前記被検査物を前記リニアセンサの光学系平面とほぼ直交する方向に移動する移動手段と、この移動手段の移動量を検出する移動量検出手段と、この検出された移動量と前記リニアセンサの出力とから二次元画像を生成する画像生成手段と、前記二次元画像を解析し、前記被検査物表面の変形を検出する変形検出手段とを備えたことを特徴とする表面変形検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/30 A
, G01N 21/90 C
